康视达取得高精度晶圆缺陷检测的小转角同轴光源专利,满足高精度晶圆缺陷检测的成像要求
国家知识产权局信息显示,东莞康视达自动化科技有限公司取得一项名为“一种用于高精度晶圆缺陷检测的小转角同轴光源”的专利,授权公告号CN223987367U,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种用于高精度晶圆缺陷检测的小转角同轴光源,包括主壳体、分光镜、漫射板以及电路板;所述主壳体为上下开口的中空框体结构,所述主壳体的上端部形成斜槽面;所述分光镜安置于该斜槽面上,所述分光镜的两边沿通过点胶与所述斜槽面的侧壁固定连接;所述电路板上设置有LED灯珠,所述电路板可拆固定于所述主壳体的下端部,使LED灯珠置于主壳体内部并与所述分光镜正对;所述漫射板设置于所述电路板与分光镜之间。本实用新型通过对主壳体、分光镜以及漫射板结构的改进,使其满足高精度晶圆缺陷检测的成像要求。
天眼查资料显示,东莞康视达自动化科技有限公司,成立于2007年,位于东莞市,是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本1162.79万人民币。通过天眼查大数据分析,东莞康视达自动化科技有限公司参与招投标项目4次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息205条,此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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