卡尔蔡司显微镜取得粒子束显微镜专利，实现电子束的聚焦

发布时间：2025-01-02 12:54

金融界2024年12月16日消息，国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司显微镜有限责任公司取得一项名为“粒子束显微镜”的专利，授权公告号CN 222146136 U，申请日期为2024年1月。

专利摘要显示，一种粒子束显微镜，包括：电子束源，该电子束源用于生成电子束；束管(245)，该束管具有导电内侧表面、第一端和第二端，其中电子束进入束管(245)的第一端并从束管(245)的第二端出来；磁性物镜(240)，该磁性物镜用于将电子束聚焦在物体平面中，其中磁性物镜(240)具有磁性线圈(243)和具有两个极端的极靴(241)，每个极端围绕磁性物镜(240)的对称轴线延伸；电势供应系统(262)，该电势供应系统被配置为将电势馈送到束管(245)的导电内侧表面；其中束管(245)包括具有内壁和外壁的电绝缘本体，其中电绝缘本体的内壁上设有导电层(211)，该导电层形成该束管(245)的导电内侧表面，并且其中导电层(211)由化学镀镍形成。

本文源自：金融界

作者：情报员

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